Veeco仪器股份有限公司案例——

Veeco使用Galil模块化功能来“查看”亚纳米级缺陷

越来越多的现代技术需要越来越精密的计量技术，来测量日益精细的细节和严格的公差。Veeco的新型Wyko®光学轮廓仪由一系列Galil运动控制器控制，可针对表面粗糙度和形貌，提供亚纳米级分辨率的非接触式三维测量。具有测量准确、重复性好且速度快的特点。

Veeco为其轮廓仪选择了Galil DMC-3425以太网运动控制器，该控制器采用了一种多功能的并且强大的分布式控制形式，其中的许多控制器可以以模块化方式链接在一起。

“有了Galil，我们只需要储备一种类型的控制器。只需要根据所需的控制轴数来使用更多的控制器。而对于其他控制器，我们则必须储备2轴、4轴和6轴的板子。”Veeco的Colin Farrell表示道。

链接时，一个DMC-3425控制器被指定为主控制器，作为一个虚拟的多轴控制器。最多可将四个DMC-3425控制器链接在一起，从而由主机单个通信链路控制的轴数多达8个。

以太网功能对于Veeco也很重要。“Galil的以太网连接能够进行快速通讯。有了以太网，我们再也不需要使用计算机主板上的插槽了。”Farrell 说道。

Galil还提供了足够的数字和模拟I/O来满足Veeco的需求。DMC-3425不仅可以接收来自控制杆的输入信号，还可以与步进电机配套使用，这两点对Veeco来说都非常重要。

Veeco在其所有的光学轮廓仪中均使用了Galil控制器来进行测量。Wyko NT1100使用了一台Galil DMC-3425，具有亚纳米级分辨率，可在小尺寸范围内进行测量。该设备能够为R&D（研究与开发）以及MEMS（微机电系统）、厚膜、光学和陶瓷的生产提供经济高效的计量。

行业标准Wyko NT3300通过使用两个DMC-3425，具有了灵活性、计量能力和可靠性，可进行全天候生产（24小时-7天）。NT3300主要用于工艺开发和质量控制。

Veeco的Wyko NT8000配有三台DMC-3425，是一款可用于任何地方的功能最强大的轮廓仪。该设备兼具100微米/秒的扫描速度、8毫米的扫描范围和全自动功能，可快速测量阶梯高度、粗糙度和表面形貌。这款第八代轮廓仪能够提供0.1纳米到8毫米范围内的三维测量，具有亚纳米级分辨率。

由于Veeco轮廓仪是非接触式的，因此测量时不会损坏被测的材料。用户既可以选择相移干涉法（PSI）——用于测量平面的快速方法，也可以选择垂直扫描干涉法（VSI）——用于测量复杂表面。所有的Veeco光学轮廓仪都可以在VSI和PSI之间切换。

“使用Galil，我们只需要储备一种类型的控制器。只需要根据所需的控制轴数来使用更多的控制器。”

Veeco 仪器股份有限公司

亚利桑那州图森

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